B11 · Halvledar- och elektronisk gas
Rostfria stålplåtar för halvledar- och elektroniska specialgaser: Urvalsguide och 6 dellistor
I våra halvledar- och elektroniska specialgaser har vi organiserat 6 delar med rostfritt stål: vanligt förekommande 316L / 304L med tjocklek från 0,05–30 mm.
Sex platser och materiallistor
| Plats / Del | Rekommenderad kvalitet | Specifikationer / Tjocklek | Yta | Huvudsakliga felmoder | Referensstandarder |
|---|---|---|---|---|---|
| Högpresterande gasöverföringsledningar | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra≤0,4μm elektropolering; interkristallin korrosionstestning | Partikelretention → waferkontaminering; Cl⁻/F⁻-etsning; korrosion i värmepåverkad zon (HAZ) vid svetsning | SEMI F20 Grade 5; ASTM A269/A632; SEMI F19 |
| Ventilkropp/Mätare/Membranventiler för specialgasskåp | 316L VIM-VAR-smitt | DN1/4″–1″; Cv 0,05–1,30 | Ra≤0,4μm elektropolering | Avstånd från säte till rörvägg > 1D bildar döda zoner för retention; korrosiv etsning av specialgas | SEMI F20 4.6.2; ASTM A182 |
| Gasfilter/Anslutningar/Bossar | 316L VIM-VAR | Via gränssnitt | Ra≤0,4μm elektropolering | Partiklar och korrosionsprodukter blockerar; anslutningsläckage | SEMI F20; ASTM A269 |
| CMP-slam/våtkemikalier transportledningar | 316L EP/PFA/PTFE-foder | 1/4″–2″ | Ra≤0,4μm elektropolering | Nötningsslipning + stark syra/oxidant + partikelretention | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Skivtvätt/klämma/spridare | 316L/PFA/kisel/kubisk kiselkarbid | 3-10mm kärl | Polering/diffusion | Kraftig korrosion + partikelkontaminering | SEMI F20; ASTM A240 |
| Vakuumkammare/frontplatta/observationsfönsterhals | 304L/316LVakuumkvalitet | Fartyg | 2B/Slipande polering/Syratvätt | Låg vakuumdegradering, svetsläckage | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
Betyg Uppfyller inte kravenStandardkonfiguration.Samma del kan växlas från 316L till 304L eller 2205 baserat på användningsförhållanden, vilket sparar tid genom att specificera förhållanden istället för bara materialet.
Viktiga punkter vid materialval
- Vanligast förekommande kvaliteterna är 316L (6) och 304L (1).
- Börja med syrabeständigt 316L, gå högre med 904L / eller duplex (2/6 träffar).
- Tjockleksintervall: 0,05–30 mm: Tunnplåt är för formningsdelar (beakta böjd fjädring och djupdragningssprickor), tjockplåt är för svetskonstruktioner (beakta värmetillförsel och sensibilisering).
Vanliga problem
Vilket rostfritt stål används mest för halvledare och elektroniska specialgaser?
Av totalt 6 delar förekommer 316L oftast (6 träffar) följt av 304L (1 träff). Specifikt för en del beror fortfarande på mediet och temperaturen. Till exempel skulle båda rostfria bänkskivorna kräva olika kvaliteter om en utsätts för saltvatten.
Vilken typ av områden är benägna att få problem?
Baserat på felbeskrivningar inkluderar typiska exempel "UHP-gasledningsrör": partikelretention → waferkontaminering; Cl⁻/F⁻ specialkorrosion; korrosion i värmepåverkad zon (HAZ) vid svets. Rekommenderad kvalitet 316L VIM-VAR med specifikationer 1/8″–2″. För dessa förhållanden rekommenderas att specificera medelkoncentration, temperatur och rengöringsmetoder i designfasen.
Vilken tjocklek bör jag välja?
Tjockleksintervallet i listan är 0,05–30 mm. För tunna plåtar, beakta bockning och ytfinish; för tjocka plåtar, svetsning och strukturell hållfasthet. Värden kan variera mellan utrustningstillverkare för samma position. Dubbelkontrollera med din ritning eller driftsförhållanden.
Relaterade material och angränsande branscher
Applications6